تجزیه و تحلیل الزامات عملکرداهداف تیتانیومیدر صنایع مختلف
جیمیل:alisa@jmyunti.com
I. الزامات عملکرد اساسی اهداف تیتانیوم
① خلوص: به عنوان یکی از شاخص های اصلی عملکرد مواد هدف، خلوص تأثیر حیاتی بر عملکرد لایه های نازک دارد. در کاربردهای عملی، الزامات خلوص هدف از صنعتی به صنعت دیگر متفاوت است. به عنوان مثال، در صنعت میکروالکترونیک، با افزایش مداوم اندازه ویفر سیلیکونی و کاهش مداوم عرض سیمکشی، الزامات خلوص هدف نیز افزایش مییابد. در گذشته، 99.995% خلوص هدف میتوانست الزامات فرآیند 0.35um IC را برآورده کند، اما اکنون برای تهیه خطوط 0.18um، خلوص هدف باید به 99.999% یا حتی 99.9999% برسد.
② محتوای ناخالصی: ناخالصی ها در جامد هدف و اکسیژن و بخار آب در منافذ منابع اصلی آلودگی فیلم های رسوب شده هستند. بنابراین، اهداف برای اهداف مختلف، الزامات متفاوتی برای محتوای ناخالصی دارند. به عنوان مثال، اهداف آلومینیم خالص و آلیاژ آلومینیوم مورد استفاده در صنعت نیمه هادی دارای الزامات خاصی برای محتوای فلز قلیایی و محتوای عناصر رادیواکتیو هستند.
③ چگالی: به منظور کاهش منافذ در جامد هدف و بهبود عملکرد فیلم پراکنده شده، معمولاً هدف مورد نیاز است که چگالی بالاتری داشته باشد. چگالی ماده هدف نه تنها بر سرعت کندوپاش تأثیر می گذارد، بلکه بر خواص الکتریکی و نوری فیلم نیز تأثیر می گذارد. علاوه بر این، بهبود چگالی و استحکام ماده مورد نظر می تواند باعث شود که در طول فرآیند کندوپاش در برابر تنش حرارتی بهتر مقاومت کند. بنابراین، چگالی نیز یکی از شاخص های کلیدی عملکرد ماده مورد نظر است.
④ اندازه دانه و توزیع اندازه دانه: ماده مورد نظر معمولاً یک ساختار پلی کریستالی است و اندازه دانه می تواند از میکرون تا میلی متر متغیر باشد. برای همان ماده هدف، سرعت کندوپاش یک هدف با دانههای ریز معمولاً سریعتر از یک هدف با دانههای درشت است. و توزیع ضخامت لایه رسوب شده توسط کندوپاش یک هدف با اختلاف کمی در اندازه دانه (توزیع یکنواخت) یکنواخت تر است.
2. الزامات خلوص برای اهداف تیتانیوم در صنایع مختلف
① اهداف تیتانیوم مورد استفاده در مدارهای مجتمع: مدارهای مجتمع دارای خلوص بسیار بالایی برای اهداف تیتانیوم هستند، معمولاً بیش از 99.995٪ برای اطمینان از عملکرد و پایداری فیلم.
② اهداف تیتانیومی مورد استفاده در نمایشگرهای صفحه تخت: نمایشگرهای صفحه تخت شامل نمایشگرهای کریستال مایع، نمایشگرهای پلاسما، نمایشگرهای الکترولومینسانس و نمایشگرهای انتشار میدان هستند. این نمایشگرها اغلب از فناوری پوشش کندوپاش برای رسوب لایه های نازک در طول فرآیند تولید استفاده می کنند. در این میان، اهداف تیتانیومی به عنوان یکی از اهداف مهم کندوپاش معمولاً نیاز به خلوص بیش از 99.9 درصد دارند. علاوه بر این، اهداف تیتانیوم میتوانند به طور گسترده در زمینههای با تکنولوژی بالا مانند الکترونیک، صنعت اطلاعات، دکوراسیون منزل و تولید شیشه خودرو استفاده شوند. در این صنایع، اهداف تیتانیوم عمدتاً برای پوشش مدارهای مجتمع، نمایشگرهای صفحه تخت و یا به عنوان تزئین و پوشش شیشه استفاده می شود. با بهینه سازی عملکرد و خلوص اهداف تیتانیوم می توان نیازهای صنایع مختلف برای عملکرد و پایداری فیلم را برآورده کرد.
شرکت: Baoji Dynamic Trading Co., Ltd
کشور: چین
اضافه کردن: جاده بائوتی، جینتای، شهر بائوجی، شانشی، چین
Cel٪3a٪7b٪7b0٪7d٪7d(WHATSAPP)٪2f18391894207
جیمیل:alisa@jmyunti.com
وب سایت: www.jm-titanium.com
